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上部電極板以及基板處理裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7090386

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本發(fā)明涉及一種上部電極板以及基板處理裝置,特別是涉及一種隔著處理空間與基板載置臺(tái)相向地配置的上部電極板。背景技術(shù)對(duì)作為基板的晶圓實(shí)施蝕刻處理的基板處理裝置具備收容晶圓且能夠減壓的腔室、配置在該腔室內(nèi)以載置晶圓的基板載置臺(tái)以及隔著處理空間與該基板載置臺(tái)相向地配置的上部電極板(CEL)。在減壓的腔室內(nèi)產(chǎn)生等離子體,該等離子體對(duì)晶圓進(jìn)行蝕刻。上部電極板經(jīng)由作為熱擴(kuò)散板而發(fā)揮功能的冷卻板而被電極支承體(UEL)支承。在對(duì)晶圓實(shí)施等離子體處理、例如蝕刻處理的情況下,...
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