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一種ito薄膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7061602

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本發(fā)明屬于光電材料領(lǐng)域,提供了一種ITO薄膜的制備方法,包括以下步驟將銦源、錫源溶解,配制銦源、錫源的混合物有機(jī)溶液,加入穩(wěn)定劑、表面活性劑進(jìn)行陳化處理,得到ITO溶膠;將所述ITO溶液在基體上進(jìn)行至少一次提拉涂膜后高溫預(yù)熱處理,然后進(jìn)行退火處理,得到ITO薄膜,其中,所述高溫預(yù)熱處理的方法為將涂有ITO溶液的基體在馬弗爐中空氣氛圍內(nèi)400~600℃預(yù)熱處理30min。本發(fā)明提供了一種ITO薄膜的制備方法,該方法采用溶膠-凝膠浸漬提拉技術(shù)制備的ITO薄膜,...
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