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抗電勢(shì)誘發(fā)衰減的晶體硅電池及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7047313

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本發(fā)明公開了一種抗電勢(shì)誘發(fā)衰減的晶體硅電池,包括依次覆蓋于硅襯底上的非晶硅層、起鈍化作用的富Si氮化硅層和起減反射作用的富N氮化硅層。本發(fā)明主要對(duì)電池的減反射層結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),在傳統(tǒng)的單層或多層氮化硅與晶硅襯底之間采用PECVD的方法淀積一層致密的非晶硅,這層致密的非晶硅可以阻擋正離子對(duì)PN結(jié)的侵蝕,從而減小PID效應(yīng)的影響。本發(fā)明僅需在現(xiàn)有設(shè)備上對(duì)工藝做簡(jiǎn)單改動(dòng)即可實(shí)現(xiàn),與現(xiàn)有工藝兼容,方法簡(jiǎn)單,成本低廉。專利說明[0001]本發(fā)明涉及晶體硅太陽能電池領(lǐng)域...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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