技術(shù)編號：7021555

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本公開涉及機(jī)電及微電子系統(tǒng)。相關(guān)技術(shù)描述機(jī)電系統(tǒng)(EMS)包括具有電氣及機(jī)械元件、致動器、換能器、傳感器、光學(xué)組件(包括鏡子)以及電子器件的設(shè)備。機(jī)電系統(tǒng)可以在各種尺度上制造，包括但不限于微米尺度和納米尺度。例如，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件可包括具有范圍從大約ー微米到數(shù)百微米或以上的大小的結(jié)構(gòu)。納米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)器件可包括具有小于一微米的大小(包括，例如小于幾百納米的大小)的結(jié)構(gòu)。機(jī)電元件可使用沉積、蝕刻、光刻和/或蝕刻掉基板和/或所沉積材料層的部分...
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