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可有效降低柵極電阻和柵極電容的柱柵金氧半場(chǎng)效晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7017679

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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可有效降低柵極電阻和柵極電容的柱柵金氧半場(chǎng)效晶體管,包括襯底(20)及N外延層(21);N外延層(21)中設(shè)有柱形溝槽,柱形溝槽內(nèi)部生長(zhǎng)柵氧化層(26),柱形柵電極(25)通過(guò)柵氧化層(26)與N外延層(21)相互電隔離;體區(qū)(22)的上方設(shè)有源區(qū)(24),源區(qū)(24)之間設(shè)有歐姆接觸區(qū)(23),芯片表面設(shè)有淀積的隔離氧化層,隔離氧化層上與柱形柵電極(25)相對(duì)應(yīng)的位置刻蝕有柱形柵極接觸孔(28),與歐姆接觸區(qū)(23)相對(duì)應(yīng)的位置刻蝕有...
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