技術(shù)編號：6968295
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種復(fù)合氣浮裝置及使用復(fù)合氣浮 裝置的硅片臺移動裝置。背景技術(shù)微電子技術(shù)的發(fā)展促進(jìn)了計算機(jī)技術(shù)、通信技術(shù)和其它電子信息技術(shù)的更新?lián)Q 代，在信息產(chǎn)業(yè)革命中起著重要的先導(dǎo)和基礎(chǔ)作用。生產(chǎn)設(shè)備在整個微電子行業(yè)中扮演著 舉足輕重的角色，而在微電子器件的制造設(shè)備中，投資最大、作用最關(guān)鍵的是光刻設(shè)備。在光刻機(jī)整機(jī)系統(tǒng)集成過程中或者由于硅片臺的故障維修或定期維修維護(hù)工作， 按照裝配流程的要求，需要頻繁地將硅片臺移至光刻機(jī)主體以外或...
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