技術(shù)編號：6957591
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝，特別是。 背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體器件不斷向高密度、高集成化以及高性能方向發(fā)展，半導(dǎo)體技術(shù)也不斷向深微米方向發(fā)展，對制造工藝和材料提出了更高的要求。目前在半導(dǎo)體制造工藝中，為了連接各個部件構(gòu)成集成電路，通常使用具有相對高導(dǎo)電率的金屬材料例如銅進(jìn)行布線，也就是金屬布線。而用于金屬布線之間連接的通常為導(dǎo)電插塞。用于將半導(dǎo)體器件的有源區(qū)與其它集成電路連接起來的結(jié)構(gòu)一般為導(dǎo)電插塞?，F(xiàn)有導(dǎo)電插塞通過通孔工藝或雙鑲嵌工藝形成。在現(xiàn)有形成銅布線或?qū)щ?..
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