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三維結(jié)構(gòu)存儲器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6952493

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本發(fā)明涉及到疊層集成電路存儲器。 背景技術(shù)提高電子電路性能和降低其成本的制造方法,毫無例外地是提高電路集成度和減 小相等數(shù)量的諸如晶體管或電容器之類的電子器件所占據(jù)的物理尺寸的方法。這些方法已 經(jīng)生產(chǎn)了每秒鐘能夠運(yùn)行一億次的成本低于1000美元的1996微處理器和數(shù)據(jù)存儲時(shí)間小 于50毫微秒的成本低于50美元的64兆位DRAM電路。這種電路的物理尺寸小于2cm2。這 些制造方法很大程度上支撐著主要工業(yè)化國家的經(jīng)濟(jì)生活標(biāo)準(zhǔn),并在全球人民的日常生活 中肯定會繼...
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