技術(shù)編號：6946246
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及具有用于從載體向處理塊搬送基板的搬送機構(gòu)的基板處理裝置、基板 處理方法和存儲介質(zhì)。背景技術(shù)在半導體設(shè)備或LCD基板的制造工藝中，利用稱為光刻的技術(shù)，對基板形成抗蝕 劑圖案。該技術(shù)通過如下一系列的工序來進行例如在半導體晶片(下面稱為晶片)等基 板上涂敷抗蝕劑，從而在該晶片的表面形成抗蝕劑膜，使用光掩模使該抗蝕劑膜曝光后，進 行顯影處理，從而得到所希望的圖案。這樣的處理一般使用在進行抗蝕劑的涂敷和顯影的涂敷、顯影裝置上連接有曝光 裝置的系統(tǒng)來進行。上...
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