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一種溝道式電容器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6930803

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本發(fā)明涉及微電子器件領(lǐng)域,特別涉及一種基于半導(dǎo)體PN結(jié)的溝道式電容器的 制作方法。背景技術(shù)隨著人們對電子產(chǎn)品的要求向小型化,多功能,環(huán)保型等方向的發(fā)展,人們努力尋 求將電子系統(tǒng)越做越小,集成度越來越高,功能越做越多,越來越強(qiáng)。由此產(chǎn)生了許多新技 術(shù),新材料,新設(shè)計。例如系統(tǒng)級芯片(System-on-Chip,S0C),以及與本發(fā)明密切相關(guān)的系 統(tǒng)級封裝(System-in-Package SiP,System-on-Package SoP)等技術(shù)就是這些...
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