技術(shù)編號：6926941
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通常涉及半導(dǎo)體器件，并且更具體涉及用于防止和減小短溝道效應(yīng)的晶體 管及其制造方法。背景技術(shù)由于設(shè)計規(guī)則隨著半導(dǎo)體器件集成度的增加而快速減小，所以晶體管溝道長度也 已經(jīng)縮短。由于晶體管溝道長度縮短，所以由短溝道效應(yīng)所導(dǎo)致的問題使器件的運行性能 劣化。當(dāng)在襯底上形成結(jié)時，隨著在襯底和源極之間或襯底和漏極之間產(chǎn)生的耗盡區(qū)的寬 度增加，產(chǎn)生短溝道效應(yīng)。當(dāng)溝道長度縮短時，在漏極區(qū)附近電場強度增加。當(dāng)電場強度增 加時，在單元區(qū)內(nèi)的電容器單元中產(chǎn)生漏電流，該漏電流...
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