技術(shù)編號：6900283
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體集成電路，尤其涉及一種利用現(xiàn)有的微米級 Si集成電路制造工藝，制造納米級Si集成電路的方法。背景技術(shù)目前，信息產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為了國民經(jīng)濟(jì)的核心產(chǎn)業(yè)，它服務(wù)于國民經(jīng)濟(jì)各個(gè) 領(lǐng)域，微電子技術(shù)是信息產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵，集成電路更是關(guān)鍵中的關(guān)鍵。集成電路自1958年問世以來，發(fā)展速度驚人，成為了信息科學(xué)技術(shù)的核心和國民經(jīng)濟(jì) 發(fā)展、國防建設(shè)的基石，對世界政治、經(jīng)濟(jì)和文化產(chǎn)生了巨大的影響。作為人 類歷史上發(fā)展最快、影響最大、應(yīng)用最廣泛的技術(shù)，集成電路已成為衡量一個(gè)...
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