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基板處理裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6891191

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本發(fā)明涉及一種對(duì)基板進(jìn)行處理的基板處理裝置。 背景技術(shù)一直以來(lái),為了對(duì)半導(dǎo)體晶片、光掩模用玻璃基板、液晶顯示裝置用玻 璃基板、光盤用基板等基板進(jìn)行各種處理,采用基板處理裝置。例如,在JP特開(kāi)2004-146708號(hào)公報(bào)中,記載了具有使基板的表面和背 面翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)單元的基板處理裝置。在這種基板處理裝置中,在矩形處理部 的大致中央處,配置有用以搬運(yùn)基板的中央機(jī)械手(搬運(yùn)單元)。在處理部?jī)?nèi),以包圍中央機(jī)械手的方式分別配置有對(duì)基板的背面進(jìn)行清 洗處理的多個(gè)(例如4...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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