技術編號:6876304
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是有關于一種半導體設計,特別是有關于一種因淺溝槽隔離(shallow trench isolation;STI)導致的氧化層應力而造成元件效能的變異。更特別是有關于一種在半導體運算元件利用虛擬元件(dummy device)消除淺溝槽隔離導致的氧化層應力的電路及方法,因此消除運算元件的不匹配,進而增進效能。背景技術 在模擬或高速數字電路中,諸如鎖相回路(phase lock loop;PLL)、串聯(lián)/解串器(serial-deserial desig...
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