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光刻裝置和器件制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6857646

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本發(fā)明涉及一種光刻裝置和一種器件制造方法、尤其是一種在投影系統(tǒng)和待曝光的襯底之間含有液體的浸入式光刻裝置,以及一種相關(guān)的浸入式器件制造方法。背景技術(shù) 光刻裝置是可在襯底、通常是襯底的目標(biāo)部分上施加所需圖案的機(jī)器。光刻裝置例如可用于集成電路(IC)的制造中。在這種情況下,可采用圖案形成裝置來(lái)產(chǎn)生將形成于IC的單個(gè)層上的電路圖案,該圖案形成裝置也稱為掩模或分劃板。該圖案可被轉(zhuǎn)移到襯底(如硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如包括一個(gè)或多個(gè)管芯)上。圖案的轉(zhuǎn)移通常借助于成像...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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