技術(shù)編號：6855477
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及例如微電子器件所需要的精確圖形化的小的特征尺寸，或者更具體地，涉及場效應(yīng)器件的制造。背景技術(shù) 現(xiàn)今的集成電路包括大量的器件。更小的器件和縮小的基本規(guī)則(ground rules)是提高性能并增強可靠性的關(guān)鍵。隨著FET(場效應(yīng)晶體管)器件尺寸的降低，技術(shù)變得更加復(fù)雜。在實現(xiàn)不斷減小的器件范圍的過程中，涉及的一個問題就是圖形化小的特征。在任何給定的技術(shù)水平，通常FET器件的柵極長度具有最小的尺寸?？v觀微電子器件發(fā)展的歷史，一直都在為實現(xiàn)短的柵極長度...
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