技術(shù)編號:6825035
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有非易失性浮柵存儲器的集成半導(dǎo)體器件的制造方法,以及有關(guān)的集成器件。特別是,這樣的一種方法,就是以先進的制作邏輯電路工藝可集成的方法。由于集成電路,例如,以微控制器或DSP為基礎(chǔ)的集成電路的復(fù)雜性增加,需要使用越來越復(fù)雜的程序(通常將其存放于成品器件的ROM(只讀存儲器)存儲器里),因此在擬定各步驟之際必須經(jīng)過改變。另一方面,集成電路中金屬層數(shù)的增加,使得為制造新容量的ROM存儲器的周期越來越長,所以就要有電可編程序存儲器,在擬定產(chǎn)品各步驟...
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