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半導(dǎo)體集成電路裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6809291

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本發(fā)明涉及把自我匹配式的超高速雙極晶體管和CMOS晶體管形成于同一半導(dǎo)體基板上的集成電路裝置及其制造方法。近年來(lái),隨著攜帶式電話等等移動(dòng)通信機(jī)器的顯著的進(jìn)步,在半導(dǎo)體電路中,把高頻電路和高集成邏輯電路集成在一起就變得很有必要了。因而,人們強(qiáng)烈地期望著把已用于高速ECL電路和模擬電路等的自我匹配式超高速雙極晶體管與高集成且低功耗的CMOS邏輯電路集成于同一塊半導(dǎo)體基板上的技術(shù)。下連,參照附圖對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)進(jìn)行說(shuō)明。這種現(xiàn)有技術(shù)在特開昭63-281456中也已揭...
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