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晶圓劈裂斷點(diǎn)高度檢知方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6354589

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本發(fā)明是關(guān)于ー種,尤指ー種可對(duì)同型號(hào)待劈裂晶圓表面曲度快速建立,以利晶圓劈裂作業(yè)的。背景技術(shù)目前晶圓完成半導(dǎo)體前段加工后,欲進(jìn)行后段構(gòu)裝時(shí),須將晶圓劈裂成多數(shù)個(gè)晶粒,再將晶粒粘著于載體上進(jìn)行封裝等步驟。 但是,目前晶圓進(jìn)行劈裂作業(yè)僅能以晶圓的厚度作為參考值,當(dāng)晶圓完成半導(dǎo)體加工,并利用激光切割晶粒單元間成形切割槽道時(shí),因激光切割的深度變化,劈裂斷點(diǎn)高度即為變值,因此,在晶圓劈裂作業(yè)時(shí),須由作業(yè)人員判斷處理,以致晶圓劈裂后的品質(zhì)與產(chǎn)能都受到影響,實(shí)有進(jìn)ー步加...
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