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六氟化硫分解產(chǎn)物低溫富集方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6237627

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本發(fā)明提供一種,其特征在于采用以下步驟1)將設(shè)有進(jìn)口和出口的氣室放置在溫度可調(diào)的低溫冷阱中,進(jìn)口和出口均設(shè)有閥門;2)關(guān)閉出口閥門,向氣室內(nèi)充入待富集的樣氣,直至氣室內(nèi)與樣氣瓶中的氣壓平衡,然后關(guān)閉進(jìn)口閥門,將冷阱溫度降至略低于SF6的熔點(diǎn)溫度,此時(shí)大部分SF6凝結(jié)成固態(tài);3)打開出口閥門,提取富集后的SF6分解產(chǎn)物。本發(fā)明利用低溫除去混合氣體中大部分的SF6,減小了分析時(shí)SF6對(duì)其他分解產(chǎn)物的干擾,同時(shí)將微量的SF6分解產(chǎn)物富集,提高分析樣品的濃度,以滿...
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