技術(shù)編號：6183894
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種壓縮冷凍法回收LED混合廢氣中氨氣的實驗裝置及其驗證方法，主要用于驗證在半導(dǎo)體發(fā)光二極管（簡稱LED）在氨氣和三甲基鎵氣相沉積成GaN，生產(chǎn)過程中排出氨氣、氮氣、氫氣混合氣體，用壓縮冷凍法工藝回收混合氣體中少量的氨氣，在工藝設(shè)計過程中驗證化工藝軟件測算的正確性，防止設(shè)計與實際實施過程中可能會產(chǎn)生的偏差，提高設(shè)計精度，減少投資損失的方法。專利說明一種壓縮冷凍法回收LED混合廢氣中氨氣的實驗裝置及其驗證方法[0001]本發(fā)明涉及LED生產(chǎn)中處理...
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