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高頻訊號(hào)路徑調(diào)整方式及其測(cè)試裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5952867

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試的高頻測(cè)試訊號(hào),特別是指一種可調(diào)整測(cè)試裝置中高頻傳輸路徑的高頻訊號(hào)路徑調(diào)整方式及其測(cè)試裝置。背景技術(shù)隨著電子產(chǎn)品日趨高速運(yùn)行及整合處理的功能,半導(dǎo)體晶圓制作過(guò)程中,多為以高速及高頻傳遞的密集制程結(jié)構(gòu)所形成的數(shù)字芯片電路;故單一芯片電路往往具有多組的電路輸入,經(jīng)芯片內(nèi)部的多任務(wù)及同步處理后,即可使單一芯片電路的輸出整合有多種電子產(chǎn)品的功能需求。因此在通過(guò)探針卡對(duì)高速處理的數(shù)字芯片電路進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試時(shí),探針卡作為測(cè)試機(jī)臺(tái)與芯片電路之間的電路...
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