技術(shù)編號：5876852
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及泄漏偵測，尤其涉及一種。 背景技術(shù)半導(dǎo)體芯片制造是一個尖端科技行業(yè)，同時又是一個耗水量大、產(chǎn)生工業(yè)廢水較多的行業(yè)。半導(dǎo)體芯片制造廠廢水的來源，可略分為化學(xué)品廢水、純水系統(tǒng)廢水以及制程廢液等。這些廢水一般都通過廢水提升站進(jìn)行收集和處理，廢水提升站是廠務(wù)收集無塵室各種生產(chǎn)排水的區(qū)域，一般位于地下室或者半地下室。廢水提升站內(nèi)布置有幾十個不同種類的化學(xué)品、廢水及廢液的收集桶槽，所述收集桶槽用于收集對應(yīng)類別的廢水。如果廢水提升站區(qū)域桶槽發(fā)生大量泄漏，既會導(dǎo)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。