專利名稱：泄漏偵測(cè)裝置及偵測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及泄漏偵測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種泄漏偵測(cè)裝置及偵測(cè)方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體芯片制造是一個(gè)尖端科技行業(yè)，同時(shí)又是一個(gè)耗水量大、產(chǎn)生工業(yè)廢水較多的行業(yè)。半導(dǎo)體芯片制造廠廢水的來(lái)源，可略分為化學(xué)品廢水、純水系統(tǒng)廢水以及制程廢液等。這些廢水一般都通過廢水提升站進(jìn)行收集和處理，廢水提升站是廠務(wù)收集無(wú)塵室各種生產(chǎn)排水的區(qū)域，一般位于地下室或者半地下室。廢水提升站內(nèi)布置有幾十個(gè)不同種類的化學(xué)品、廢水及廢液的收集桶槽，所述收集桶槽用于收集對(duì)應(yīng)類別的廢水。如果廢水提升站區(qū)域桶槽發(fā)生大量泄漏，既會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)排水系統(tǒng)中斷，從而影響無(wú)塵室的正常生產(chǎn)；也會(huì)造成重大安全生產(chǎn)事故的發(fā)生。因此，為了及早偵測(cè)到該區(qū)域的滴漏，避免事故擴(kuò)大化，提高生產(chǎn)的穩(wěn)定性，通常在廢水提升站內(nèi)設(shè)置有廢水泄漏偵測(cè)裝置， 以便及時(shí)偵測(cè)到泄漏情況，并及時(shí)進(jìn)行緊急應(yīng)變處理?，F(xiàn)有的廢水泄漏偵測(cè)裝置一般包括泄漏偵測(cè)器以及中央控制室，所述泄漏偵測(cè)器設(shè)置于所述廢水提升站的地面上，偵測(cè)泄漏情況，當(dāng)偵測(cè)到地面有水時(shí)，所述泄漏偵測(cè)器發(fā)生報(bào)警，并將偵測(cè)到的信號(hào)輸送到中央控制室，以便及時(shí)進(jìn)行緊急應(yīng)變處理。然而現(xiàn)有的廢水泄漏偵測(cè)裝置存在如下的缺點(diǎn)和不足之處1)由于廢水區(qū)域設(shè)備的維修和保養(yǎng)會(huì)排放一些廢液，這些廢液容易將泄漏偵測(cè)器腐蝕，造成其失效，因而需要定期更換；2)由于廢水區(qū)域環(huán)境濕度比較大，一旦地面有潮濕，泄漏偵測(cè)器就會(huì)發(fā)生誤報(bào)警， 需要一定的人力去處理恢復(fù)；并且隨著時(shí)間的增長(zhǎng)，值班人員會(huì)對(duì)泄漏偵測(cè)器的報(bào)警產(chǎn)生信任危機(jī)，可能延時(shí)處理從而導(dǎo)致真實(shí)事件發(fā)生；3)泄漏偵測(cè)器價(jià)位偏高；4)需對(duì)泄漏偵測(cè)器定期做功能測(cè)試，從而花費(fèi)人力。因此，有必要對(duì)現(xiàn)有的泄漏偵測(cè)裝置進(jìn)行改進(jìn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種泄漏偵測(cè)裝置及偵測(cè)方法，以解決現(xiàn)有的廢水提升站采用泄漏偵測(cè)器進(jìn)行泄漏偵測(cè)，該泄漏偵測(cè)器極易被排放的廢液腐蝕而失效，并且無(wú)法分辨桶槽大漏和滴漏冷凝水造成的地面潮濕情況，同時(shí)使用成本高的問題。為解決上述問題，本發(fā)明提出一種泄漏偵測(cè)裝置，用于偵測(cè)廢水提升站區(qū)域的泄漏情況，其中，所述廢水收集在桶槽中，該裝置包括液位計(jì)，設(shè)置于所述桶槽中，用于測(cè)量所述桶槽的液位值；數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置，采集所述液位計(jì)在第一時(shí)間的第一液位值，及第二時(shí)間的第二液位值；以及
控制設(shè)備，根據(jù)所述第一時(shí)間、第一液位值、第二時(shí)間、第二液位值以及桶槽的總深度，計(jì)算實(shí)際相對(duì)液位變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率與一標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，若所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值大于所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值， 所述控制設(shè)備發(fā)出報(bào)警?？蛇x的，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率為0. 667% /小時(shí) /小時(shí)?？蛇x的，所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為A _ 1Vl- Vl 其中，Αω表示實(shí)際相對(duì)液位變化率，L1表示第一時(shí)間對(duì)應(yīng)的
(O Jt ，
第一液位值，L2表示第二時(shí)間對(duì)應(yīng)的第二液位值，L表示所述桶槽的總深度，At表示所述第二時(shí)間與第一時(shí)間的時(shí)間差。同時(shí)，為解決上述問題，本發(fā)明還提出一種利用上述的泄漏偵測(cè)裝置偵測(cè)廢水泄漏的方法，該方法包括如下步驟設(shè)定所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置的采集時(shí)間間隔；設(shè)定所述桶槽在所述第二時(shí)間與第一時(shí)間的時(shí)間差內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化值；所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置或所述控制設(shè)備根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化值及所述采集時(shí)間間隔計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率；所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)在第一時(shí)間的第一液位值；所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)在第二時(shí)間的第二液位值，其中， 所述第二時(shí)間與所述第一時(shí)間的時(shí)間差等于所述采集時(shí)間間隔；以及所述控制設(shè)備根據(jù)所述第一時(shí)間、第一液位值、第二時(shí)間、第二液位值以及桶槽的總深度，計(jì)算實(shí)際液位相對(duì)變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率與所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，若所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值大于所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值，所述控制設(shè)備發(fā)出報(bào)警?？蛇x的，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率為0. 667% /小時(shí) 1 % /小時(shí)?？蛇x的，所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為, _ Ι / -1χ/ 其中，Αω表示實(shí)際相對(duì)液位變化率，L1表示第一時(shí)間對(duì)應(yīng)的
(O _ ^ ,
第一液位值，L2表示第二時(shí)間對(duì)應(yīng)的第二液位值，L表示所述桶槽的總深度，At表示所述第二時(shí)間與第一時(shí)間的時(shí)間差。本發(fā)明由于采用了以上的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果1)本發(fā)明提供的泄漏偵測(cè)裝置只有液位計(jì)與廢液直接接觸，而液位計(jì)不易被腐蝕，因而降低了硬件投資和運(yùn)行費(fèi)用，同時(shí)減輕了人力負(fù)荷；2)本發(fā)明提供的泄漏偵測(cè)裝置只有在所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值大于所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值的情況下，才會(huì)發(fā)出報(bào)警，從而能分辨出桶槽大漏和滴漏冷凝水造成的地面潮濕情況，消除了現(xiàn)有技術(shù)中的泄漏偵測(cè)器的誤報(bào)警，增加了系統(tǒng)穩(wěn)定性，可以比較準(zhǔn)確地監(jiān)控到大量泄漏；3)本發(fā)明提供的泄漏偵測(cè)裝置還可以偵測(cè)桶槽液位上升的速率，從而監(jiān)控工廠機(jī)臺(tái)的異常排放，避免因桶槽液位上升過快而導(dǎo)致溢流。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的泄漏偵測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的偵測(cè)廢水泄漏的方法步驟流程圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的泄漏偵測(cè)裝置及偵測(cè)方法作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。本發(fā)明的核心思想在于，提供一種泄漏偵測(cè)裝置，該裝置包括液位計(jì)、數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置以及控制設(shè)備，該裝置通過將實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值與標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值進(jìn)行比較，判斷是否發(fā)生大泄漏，進(jìn)而發(fā)出報(bào)警，從而消除了現(xiàn)有技術(shù)中的泄漏偵測(cè)器的誤報(bào)警，增加了系統(tǒng)穩(wěn)定性，可以比較準(zhǔn)確地監(jiān)控到大量泄漏；并且由于液位計(jì)不易被腐蝕，因而降低了硬件投資和運(yùn)行費(fèi)用，同時(shí)減輕了人力負(fù)荷；同時(shí)還提供一種偵測(cè)廢水泄漏的方法，該方法通過所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)的測(cè)量值; 同時(shí)，所述控制設(shè)備計(jì)算桶槽的實(shí)際相對(duì)液位變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值與一標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，判斷是否發(fā)生大泄漏，進(jìn)而發(fā)出報(bào)警。請(qǐng)參考圖1，圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的泄漏偵測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示， 本發(fā)明實(shí)施例提供的泄漏偵測(cè)裝置包括液位計(jì)101，所述液位計(jì)101設(shè)置于所述桶槽104中，用于測(cè)量所述桶槽104的液位值；數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置102，采集所述液位計(jì)101在第一時(shí)間的第一液位值，及第二時(shí)間的第二液位值；以及控制設(shè)備103，所述控制設(shè)備103根據(jù)所述第一時(shí)間、第一液位值、第二時(shí)間、第二液位值以及桶槽的總深度，計(jì)算實(shí)際相對(duì)液位變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率與一標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，若所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值大于所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值，所述控制設(shè)備103發(fā)出報(bào)警。進(jìn)一步地，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率為0. 667% /小時(shí) 1 % /小時(shí)。進(jìn)一步地，所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為, 一 ‘1/, - 1A其中，Aw表示實(shí)際相對(duì)液位變化率，L1表示第一時(shí)間對(duì)應(yīng)的
(O ““ M ,
第一液位值，L2表示第二時(shí)間對(duì)應(yīng)的第二液位值，L表示所述桶槽的總深度，At表示所述第二時(shí)間與第一時(shí)間的時(shí)間差。請(qǐng)繼續(xù)參考圖2，圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的偵測(cè)廢水泄漏的方法步驟流程圖， 如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的利用上述泄漏偵測(cè)裝置偵測(cè)廢水泄漏的方法包括如下步驟設(shè)定所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置的采集時(shí)間間隔；
設(shè)定所述桶槽在所述第二時(shí)間與第一時(shí)間的時(shí)間差內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化值；所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置或所述控制設(shè)備根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化值及所述采集時(shí)間間隔計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率；所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)在第一時(shí)間的第一液位值；所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)在第二時(shí)間的第二液位值，其中， 所述第二時(shí)間與所述第一時(shí)間的時(shí)間差等于所述采集時(shí)間間隔；以及所述控制設(shè)備根據(jù)所述第一時(shí)間、第一液位值、第二時(shí)間、第二液位值以及桶槽的總深度，計(jì)算實(shí)際液位相對(duì)變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率與所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，若所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值大于所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值，所述控制設(shè)備發(fā)出報(bào)警。進(jìn)一步地，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率為0. 667% /小時(shí) 1 % /小時(shí)。進(jìn)一步地，所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為
權(quán)利要求
1.一種泄漏偵測(cè)裝置，用于偵測(cè)廢水提升站區(qū)域的廢水泄漏情況，其中，所述廢水收集在桶槽中，其特征在于，該裝置包括液位計(jì)，設(shè)置于所述桶槽中，用于測(cè)量所述桶槽的液位值；數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置，采集所述液位計(jì)在第一時(shí)間的第一液位值，及第二時(shí)間的第二液位值；以及控制設(shè)備，根據(jù)所述第一時(shí)間、第一液位值、第二時(shí)間、第二液位值以及桶槽的總深度， 計(jì)算實(shí)際相對(duì)液位變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率與一標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，若所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值大于所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值，所述控制設(shè)備發(fā)出報(bào)警。
2.如權(quán)利要求1所述的泄漏偵測(cè)裝置，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為
3.如權(quán)利要求1所述的泄漏偵測(cè)裝置，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率為 0. 667% /小時(shí) /小時(shí)。
4.如權(quán)利要求1所述的泄漏偵測(cè)裝置，其特征在于，所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為
5.一種利用權(quán)利要求1所述的泄漏偵測(cè)裝置偵測(cè)廢水泄漏的方法，其特征在于，包括如下步驟設(shè)定所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置的采集時(shí)間間隔； 設(shè)定所述桶槽在所述采集時(shí)間間隔內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化值； 所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置或所述控制設(shè)備根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化值及所述采集時(shí)間間隔計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率；所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)在第一時(shí)間的第一液位值； 所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)在第二時(shí)間的第二液位值，其中，所述第二時(shí)間與所述第一時(shí)間的時(shí)間差等于所述采集時(shí)間間隔；以及所述控制設(shè)備根據(jù)所述第一時(shí)間、第一液位值、第二時(shí)間、第二液位值以及桶槽的總深度，計(jì)算實(shí)際液位相對(duì)變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率與所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，若所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值大于所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值， 所述控制設(shè)備發(fā)出報(bào)警。
6.如權(quán)利要求5所述的偵測(cè)廢水泄漏的方法，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為
7.如權(quán)利要求5所述的偵測(cè)廢水泄漏的方法，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率為0. 667% /小時(shí) /小時(shí)。
8.如權(quán)利要求5所述的偵測(cè)廢水泄漏的方法，其特征在于，所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的計(jì)算公式為
全文摘要
本發(fā)明公開了一種泄漏偵測(cè)裝置，該裝置包括液位計(jì)、數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置及控制設(shè)備，該裝置通過將實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值與標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值進(jìn)行比較，判斷是否發(fā)生大泄漏，進(jìn)而發(fā)出報(bào)警，從而消除了現(xiàn)有技術(shù)中的泄漏偵測(cè)器的誤報(bào)警，增加了系統(tǒng)穩(wěn)定性，可以比較準(zhǔn)確地監(jiān)控到大量泄漏；同時(shí)還提供一種偵測(cè)廢水泄漏的方法，該方法通過所述數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制裝置采集所述液位計(jì)的測(cè)量值；同時(shí)，利用所述控制設(shè)備計(jì)算桶槽的實(shí)際相對(duì)液位變化率，并將所述實(shí)際相對(duì)液位變化率的絕對(duì)值與一標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)液位變化率進(jìn)行比較，判斷是否發(fā)生大泄漏，進(jìn)而發(fā)出報(bào)警；該方法簡(jiǎn)單可靠。
文檔編號(hào)G01M3/26GK102374927SQ20101026153
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2010年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月24日
發(fā)明者厲曉華, 張?jiān)菩? 王興宇 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司