技術(shù)編號(hào)：5288062
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鋁材的，特別涉及在鋁的陽極氧化被膜上形成致密層 (保護(hù)膜)的方法。背景技術(shù)鋁、鋁合金比不銹鋼等輕、導(dǎo)熱性優(yōu)異，而且沒有鉻等重金屬污染的影響，所以被 廣泛用作真空處理裝置的真空槽的內(nèi)壁構(gòu)件。目前，鋁、鋁合金的耐腐蝕處理廣泛采用稱為防蝕鋁(alumite)處理的陽極氧化處理。但是，要求真空處理裝置、特別是使用反應(yīng)性氣體、其等離子體或自由基的裝置 (CVD裝置、蝕刻裝置等)也具有高耐腐蝕性，所以現(xiàn)有的陽極氧化處理并不足夠。陽極氧化處理是將硫酸、草酸等的...
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