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技術(shù)編號(hào)：5287179

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及電鍍系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，電鍍(ECP)通常是指在晶圓上鍍膜的工藝。電鍍工藝一般在 電鍍?cè)O(shè)備上進(jìn)行，由于其工藝條件為常溫常壓，因此ECP設(shè)備設(shè)置為敞口 ，如果外部有污染 氣體，則容易對(duì)電鍍?cè)斐蓳p壞。 例如目前業(yè)界生產(chǎn)車間內(nèi)，ECP設(shè)備通常與物理沉積(PVD)設(shè)備鄰近，如圖1所 示，圖1為現(xiàn)有ECP設(shè)備及PVD設(shè)備的一種布局示意圖，圖中標(biāo)號(hào)10 13為ECP設(shè)備，標(biāo) 號(hào)14 15為PVD設(shè)備。在PVD工藝過(guò)程中，將...
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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
• 余老師：設(shè)計(jì)和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用，通過(guò)先進(jìn)表征手段和理論模擬計(jì)算理解催化位點(diǎn)和反應(yīng)機(jī)理，力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
• 匙老師：多酸團(tuán)簇、金屬有機(jī)框架材料的合成性能研究與計(jì)算模擬，主要包括： 1.多酸團(tuán)簇-無(wú)機(jī)晶核共組裝進(jìn)行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進(jìn)能源材料設(shè)計(jì)、制備和器件應(yīng)用。
• 焦老師：新能源材料設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究。主要包括：1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等；2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
• 蔣老師：以儲(chǔ)能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術(shù)的開(kāi)發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計(jì)及作用機(jī)理研究 4. 仿生材料的設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究