技術(shù)編號：5007593
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總的來說涉及一種惰化容器的至少一個(gè)內(nèi)部空間的方法，具體地說，涉及一種提高容器內(nèi)部空間的惰化速度的方法，尤其是當(dāng)至少一個(gè)膜用作為惰性流體源時(shí)的情況。惰性流體，尤其是惰性氣體，常被用來調(diào)節(jié)容器或貯器內(nèi)部空間的氣氛。例如，在用容器運(yùn)輸易腐爛的物品或在容器中制造半導(dǎo)體晶片時(shí)，通常用惰性流體中的氮?dú)鈦矶杌萜鲀?nèi)部空間。為了向容器內(nèi)部空間提供氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w，使用各種惰性氣體源。這些惰性氣體源包括鋼瓶、液槽、膜氣體分離裝置以及變壓或變溫吸附裝置。然而，對于具體...
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