專(zhuān)利名稱(chēng)：：容器惰化的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明總的來(lái)說(shuō)涉及一種惰化容器的至少一個(gè)內(nèi)部空間的方法，具體地說(shuō)，涉及一種提高容器內(nèi)部空間的惰化速度的方法，尤其是當(dāng)至少一個(gè)膜用作為惰性流體源時(shí)的情況。惰性流體，尤其是惰性氣體，常被用來(lái)調(diào)節(jié)容器或貯器內(nèi)部空間的氣氛。例如，在用容器運(yùn)輸易腐爛的物品或在容器中制造半導(dǎo)體晶片時(shí)，通常用惰性流體中的氮?dú)鈦?lái)惰化容器內(nèi)部空間。為了向容器內(nèi)部空間提供氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w，使用各種惰性氣體源。這些惰性氣體源包括鋼瓶、液槽、膜氣體分離裝置以及變壓或變溫吸附裝置。然而，對(duì)于具體的惰化方法，選擇哪一種惰性氣體源，取決于容器內(nèi)部空間的惰化速率以及與惰化方法相關(guān)的能量(動(dòng)力)消耗，因?yàn)樵诠I(yè)操作過(guò)程中，惰化速率和能量消耗是極為重要的因素。因此，不管使用哪種惰性氣源，都要求提高容器內(nèi)部空間的惰化速率，同時(shí)降低與惰化方法相關(guān)的動(dòng)力消耗。根據(jù)本發(fā)明，上述要求可以通過(guò)變濃度凈化(Phasedconcentrationpurge)來(lái)完成，包括(a)平穩(wěn)地將一種富惰性流體物流引入到所述容器的所述內(nèi)部空間，所述富惰性流體物流中的惰性流體濃度大于所述容器的所述內(nèi)部空間中的惰性流體的濃度;(b)在富惰性流體物流引入所述容器期間，提高其中惰性流體的濃度;和(c)從所述容器的所述內(nèi)部空間中排出含有至少一種雜質(zhì)和惰性氣體的廢氣物流。在初始階段，富惰性流體物流引入到容器內(nèi)部空間的流速應(yīng)為與向容器內(nèi)部空間引入富惰性流體物流的任意惰性流體源相連的壓縮或泵裝置所能產(chǎn)生的最大或幾乎為最大的流速，例如至少一臺(tái)壓縮機(jī)或泵與至少一套用于產(chǎn)生富氮物流的膜氣體分離系統(tǒng)相連。在富惰性流體物流中的惰性流體濃度可以以間歇、連續(xù)、漸進(jìn)或逐步的方式提高。當(dāng)容器內(nèi)部空間的至少一種雜質(zhì)(如氧氣)減少到容器內(nèi)部空間所有氣體的1%～10%(體積)時(shí)，富惰性流體物流中的惰性流體濃度優(yōu)選提高到93%(體積)以上或99%(體積)以上。隨著富惰性流體物流中惰性流體濃度的增加，富惰性流體物流流速可降低。從容器內(nèi)部空間排出的廢氣物流可任選循環(huán)到作為富惰性流體物流源的流體分離系統(tǒng)。當(dāng)流體分離系統(tǒng)或惰性流體源為至少一套由含非滲透?jìng)?cè)和滲透?jìng)?cè)的膜構(gòu)成的膜組件時(shí)，則至少一部分廢氣可以送至組件中膜的非滲透?jìng)?cè)以提高富惰性流體氣體中惰性流體的濃度和/或?qū)⒅辽僖徊糠謴U氣送到膜的滲透?jìng)?cè)以凈化其中的水分或氧氣，從而促進(jìn)富惰性流體物流的生產(chǎn)。這里所說(shuō)的“惰性流體”指在當(dāng)時(shí)的氣氛(如氮和/或氬)和溫度條件下不與容器內(nèi)部空間中的物質(zhì)發(fā)生有害化學(xué)反應(yīng)的任何流體。在此所用術(shù)語(yǔ)“富惰性流體物流”指其中所含的惰性流體濃度大于容器內(nèi)部空間所含惰性流體濃度的物流。在此所用術(shù)語(yǔ)“惰化”指增加容器內(nèi)部空間中惰性流體濃度的過(guò)程。在此所用術(shù)語(yǔ)“至少一種雜質(zhì)”指在當(dāng)時(shí)的氣氛條件下與容器內(nèi)部空間中的物質(zhì)起化學(xué)反應(yīng)的任何一種流體或物質(zhì)，如氧氣或一氧化碳。在此所用術(shù)語(yǔ)“容器”或“容器內(nèi)部空間”指在惰性條件下，可用于貯存，處理或制備材料(如易腐爛的物品或半導(dǎo)體晶片)的密閉空間。圖1和圖2是作為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方案的容器惰化系統(tǒng)的示意流程圖。圖3所示是在圖1所示的容器惰化系統(tǒng)中，對(duì)于富氮?dú)怏w中不同的氮?dú)鉂舛?，容器?nèi)部空間的氧氣濃度隨時(shí)間的變化圖。圖4所示的是在圖2所示的容器惰化系統(tǒng)中，對(duì)于富氮?dú)怏w中不同的氮?dú)鉂舛龋萜鲀?nèi)部空間氧氣的濃度隨時(shí)間的變化圖。本發(fā)明主要涉及下述發(fā)現(xiàn)在富惰性流體物流引入容器內(nèi)部空間的過(guò)程中，通過(guò)變化物流中惰性流體的濃度(變濃度凈化)，可以顯著提高容器內(nèi)部空間的惰化速率，同時(shí)減少惰化過(guò)程的動(dòng)力消耗。在上述過(guò)程中，如果在改變物流中惰性流體濃度的同時(shí)，也改變富惰性流體物流的流速，則惰化速率和惰化過(guò)程的動(dòng)力消耗還會(huì)進(jìn)一步得以改善。也就是說(shuō)，隨著富惰性流體物流中惰性流體濃度的增加，也應(yīng)降低其流速。為了進(jìn)一步提高惰化過(guò)程的效率，在初始階段，富惰性流體物流引入容器內(nèi)部空間時(shí)，其流速應(yīng)為連接導(dǎo)入流體的導(dǎo)管和/或與容器內(nèi)部空間存在流體連通的惰性流體源的任何泵或壓縮裝置所能產(chǎn)生的最大或幾乎最大的流速。本發(fā)明優(yōu)選的容器惰化系統(tǒng)將參考圖1、圖2進(jìn)行闡述。然而，容易理解的是這些優(yōu)選的實(shí)施方案的描述絕不排除其它大量的容器惰化系統(tǒng)，這對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見(jiàn)的。如圖1、2所示，優(yōu)選的容器惰化系統(tǒng)包括惰性流體源(1)，壓縮或泵裝置(2)，和容器(3)。開(kāi)始時(shí)，供料流體物流，如空氣，通過(guò)至少一個(gè)進(jìn)口管線(4)和至少一個(gè)壓縮或泵裝置(2)引入到惰性流體源(1)。所用的惰性流體源(1)可以選自在線惰性流體源，如膜氣體分離系統(tǒng)、低溫氣體分離系統(tǒng)、變壓或變溫吸附系統(tǒng)或者是上述系統(tǒng)的組合。在這些惰性流體源中，一般最優(yōu)選膜氣體分離系統(tǒng)，這是因?yàn)樗鼈兡軌蛞暂^小的工業(yè)規(guī)模被有效的應(yīng)用，例下述文獻(xiàn)所述(這些文獻(xiàn)并入本文作為參考)USPNo.5，102，432;RaviPrasad等“工業(yè)空氣分離中膜的進(jìn)展”(AICHE春季全國(guó)會(huì)議，1993年3月28日);RaviPrasad等“經(jīng)膜分離空氣制高純度氮”，(AICHE春季全國(guó)會(huì)議，1990年3月18日);DaveR.Thompson“用膜生產(chǎn)氮?dú)獠僮鹘?jīng)驗(yàn)”(AICHE春季全國(guó)會(huì)議，1990年3月18日);RaviPrasad等“制高純氮?dú)獾南冗M(jìn)的膜工藝”(AICHE全國(guó)會(huì)議;1992年11月)。然而，產(chǎn)出的富惰性氣體物流中惰性氣體的濃度與產(chǎn)出氣體物流流量成反比。在惰性氣源(1)中，供料流體物流，如空氣，被分離產(chǎn)生富惰性流體物流，如富氮物流，和含有大量非惰性流體的廢氣物流，如富氧物流。在惰性流體源(1)被起動(dòng)后，也就是起動(dòng)壓縮或泵裝置(2)后，富惰性流體物流從惰性流體源(1)流出，通過(guò)管線(5)平穩(wěn)地充入容器(3)內(nèi)部空間。同時(shí)從惰性流體源(1)來(lái)的廢氣物流通過(guò)帶閥(12)的管線(6)棄掉。為了增加容器(3)內(nèi)部空間的惰化速率，降低惰化過(guò)程的動(dòng)力消耗，在將富惰性流體物流引入到容器(3)的過(guò)程中，以間歇，漸進(jìn)、逐步或連續(xù)的方式提高平穩(wěn)流動(dòng)的富惰性流體物流中惰性流體的濃度。例如，在富惰性流體物流引入容器內(nèi)部空間的某一時(shí)刻，富惰性流體物流中惰性流體的濃度可以在約80%～99.9%(體積)，優(yōu)選在約80%～97%(體積)的范圍。當(dāng)容器內(nèi)部空間氧氣濃度降低到約1%～約10%(體積)，優(yōu)選降低到約2%～約6%(體積)時(shí)，基于容器內(nèi)部空間的氣體總體積，富惰性流體物流中惰性流體濃度提高到大于93%(體積)，優(yōu)選大于97%(體積)，更優(yōu)選大于98%(體積)。富惰性流體物流中惰性氣體的初始濃度通常取決于所用的惰性流體源和/或惰性流體的種類(lèi)，但其最終濃度將取決于所涉及容器的用途，如，在容器(3)的惰性內(nèi)部空間貯存或運(yùn)輸易腐爛的物品或在容器(3)的惰性內(nèi)部空間制半導(dǎo)體晶片。例如，當(dāng)用富氮?dú)怏w惰化容器(3)內(nèi)部空間時(shí)，在富氮?dú)怏w物流中氮?dú)獾某跏紳舛仍诩s80～99.9%(體積)范圍內(nèi)，優(yōu)選在約80%～97%范圍。而富氮?dú)怏w物流中氮?dú)獾淖罱K濃度大于93%(體積)，優(yōu)選大于約99%(體積)，例如用于制造半導(dǎo)體晶片時(shí)，達(dá)99.9999%(體積)。為了進(jìn)一步提高惰化速率并改善能耗，開(kāi)始時(shí)以最高或幾乎最高的流速將富惰性流體物流引入到容器(3)的內(nèi)部空間，所達(dá)最高流速指與至少一個(gè)惰性流體源(1)或容器(3)相連的至少一個(gè)壓縮或泵裝置(例如壓縮或泵裝置(2))所能產(chǎn)生的最高流速。通常在開(kāi)始時(shí)，富惰性流體物流的流速，相對(duì)于容器體積，以每小時(shí)空速表示為約0.02約50之間，優(yōu)選0.2至10。然后，隨著富惰性流體物流中惰性流體濃度漸進(jìn)地、間歇地、連續(xù)地或逐步地提高，富惰性流體物流的流速也漸進(jìn)地、間歇地、連續(xù)地或逐步地降低。不過(guò)，可以理解的是富惰性流體物流的流速降低不要求與其中惰性流體濃度的提高精確地對(duì)應(yīng)。換句話說(shuō)，例如，流速可以是間歇或漸進(jìn)地降低，即使其中惰性流體的濃度連續(xù)地提高。只要富惰性流體物流的流速隨著其中惰性流體濃度的增加而降低，惰化速率和與之相關(guān)的能耗都會(huì)進(jìn)一步改善。通常富惰性流體物流的最終流速，相對(duì)于容器體積，以每小時(shí)空速表示，為約0.2至約200，優(yōu)選約1至約50。當(dāng)富惰性流體物流進(jìn)入容器(3)的內(nèi)部空間時(shí)，在其中產(chǎn)生的含有雜質(zhì)和惰性流體的廢氣從帶閥門(mén)(8)的管道(7)連續(xù)放出或清除，直到在容器(3)內(nèi)部空間達(dá)到所要求的惰性流體濃度，即要求的惰性環(huán)境。盡管在容器(3)內(nèi)部空間所要求的惰性流體濃度隨在其中處理的物質(zhì)的不同(如易腐爛的物品和半導(dǎo)體晶片)而不同，但基于容器(3)內(nèi)部空間的所有氣體，氧含量應(yīng)該維持小于約7%(體積)，優(yōu)選小于約3%(體積)，最優(yōu)選小于或等于約2%(體積)，這樣才能抑制需要置于容器(3)內(nèi)的物質(zhì)變質(zhì)。從容器(3)排出的廢物流可以通過(guò)管道(7)棄去，也可以通過(guò)管道(9)循環(huán)。它可以與惰性流體源的供料流體物流合并，以連續(xù)或間歇地增加引入容器(3)內(nèi)部空間的富惰性流體物流中惰性流體的濃度。當(dāng)至少一套膜組件作為惰性氣體源時(shí)，可以不必改變壓縮機(jī)的流速而連續(xù)地提高富惰性氣體物流中惰性氣體的濃度。例如，當(dāng)容器中氣氛變得更富含惰性氣體時(shí)，廢氣物流中惰性氣體的濃度就增大。將富惰性氣體的廢氣物流與供料氣(如空氣)合并，則供料氣中更富含惰性氣體。這樣，富含惰性氣體的供料氣導(dǎo)入膜組件中膜的非滲透?jìng)?cè)后，則來(lái)自非滲透?jìng)?cè)的富惰性氣體物流中惰性氣體的濃度得以提高。當(dāng)然如果至少有一部分管線(9)中的廢氣物流通過(guò)帶閥門(mén)(11)的管線(10)導(dǎo)入組件中膜的滲透?jìng)?cè)，以清除其中的氧氣和/或水氣，則送到容器(3)內(nèi)部空間的富惰性氣體物流的質(zhì)量可進(jìn)一步提高。下面的實(shí)施例用以闡述本發(fā)明。它們僅用于闡述目的而無(wú)意作限制。實(shí)施例1在圖1所示的容器惰化系統(tǒng)中實(shí)施惰化或凈化。所用的惰性流體源(1)是單一膜組件或雙膜組件。容器(3)的內(nèi)部空間總?cè)莘e為約2280英尺3，空的容積(容器內(nèi)部空間中的空的空間或氣相空間)約1480英尺3?？盏娜莘e中作為雜質(zhì)的氧的濃度為約21%(體積)。容器內(nèi)壓力約0.5英寸水柱，泄漏速率為約40～100英尺3/小時(shí)。開(kāi)始時(shí)，空氣用壓縮裝置(2)送入膜組件產(chǎn)生富氮?dú)馕锪?。由于富氮?dú)馕锪髦械獨(dú)獾臐舛扰c產(chǎn)生的富氮?dú)馕锪鞯牧魉俪煞幢?，因此，為了產(chǎn)生含氮?dú)饬繛?9%(體積)以上的富氮?dú)馕锪?，其流速?duì)于單膜組件保持在約279英尺3/小時(shí)，對(duì)于雙膜組件保持在約558英尺3/小時(shí)。產(chǎn)生的富氮?dú)怏w物流連續(xù)地引入容器(3)的內(nèi)部空間，直到容器內(nèi)部空間的氧含量減少到約2%(體積)(固定濃度凈化)。同時(shí)，產(chǎn)生的含有氧和氮?dú)獾膹U氣物流連續(xù)地從容器(3)內(nèi)部空間中排出。在相同的條件下重復(fù)上述容器惰化過(guò)程，只是在將富氮?dú)怏w引入到容器內(nèi)部空間的過(guò)程中增加富氮?dú)怏w中的氮?dú)夂?，從約97%(體積)增加到約99%(體積)(變濃度凈化)。開(kāi)始時(shí)，含氮97%的富氮?dú)怏w引入的流速，相對(duì)于單膜組件為約532英尺3/小時(shí)，而對(duì)于雙膜組件為約1062英尺3/小時(shí)。當(dāng)容器(3)的內(nèi)部空間中的氧濃度降到約5%(體積)后，富氮?dú)怏w中的氮濃度提高到約99%。此物流以約279英尺3/小時(shí)的速率(對(duì)單膜組件)和約558英尺3/小時(shí)(對(duì)雙膜組件)的速率連續(xù)地引入容器(3)的內(nèi)部空間，直到容器內(nèi)的氧含量減少到約2%。在富氮物流引入容器(3)的過(guò)程中，其中產(chǎn)生的廢氣物流放出。對(duì)上述固定濃度凈化和變濃度凈化過(guò)程的結(jié)果進(jìn)行計(jì)算并列入表Ⅰ中。表Ⅰ<tablesid="table1"num="001"><tablealign="center">膜組件數(shù)變濃度凈化所需時(shí)間固定濃度凈化所需時(shí)間△T114小時(shí)16小時(shí)2小時(shí)26.5小時(shí)7.5小時(shí)1小時(shí)</table></tables>如表Ⅰ所示，采用變濃度凈化時(shí)，容器(3)內(nèi)部空間的惰化速率得以提高。并且不管使用單膜組件還是雙膜組件，只要富氮?dú)怏w物流中氮?dú)獾臐舛雀淖儯杌撊萜魉枰臅r(shí)間可減少約12%。實(shí)施例2在圖2所示的容器惰化系統(tǒng)中實(shí)施惰化或凈化。所用的惰性流體源(1)是一個(gè)膜組件，它能夠以1466英尺3/小時(shí)的流速產(chǎn)生含氮97%(體積)的富氮?dú)怏w物流，或以1330英尺3/小時(shí)的流速產(chǎn)生含氮98%(體積)的富氮?dú)怏w物流，或以1161英尺3/小時(shí)的流速產(chǎn)生含氮99%(體積)的富氮?dú)怏w物流。容器(3)的內(nèi)部空間容積(整個(gè)內(nèi)部空間)約2280英尺3，空的容積(內(nèi)部空間中空的空間或是氣相空間)約1480英尺3。作為雜質(zhì)的氧的濃度，在空的容積中為約21%(體積)。容器壓力約0.5英寸水柱，泄漏速率約40～100英尺3/小時(shí)。開(kāi)始時(shí)，用壓縮裝置(2)將空氣送入膜組件，產(chǎn)生富氮?dú)怏w物流。產(chǎn)生的富氮?dú)怏w物流引入容器(3)的內(nèi)部空間，同時(shí)導(dǎo)出容器(3)內(nèi)部空間產(chǎn)生的廢氣物流。在不改變壓縮機(jī)的氣流速度的情況下，通過(guò)將排出的廢氣物流與空氣合并作為供氣導(dǎo)入膜組件的非滲透?jìng)?cè)，以提高富氮?dú)怏w物流中氮?dú)獾臐舛?。隨著容器中的氣氛變得更富含氮?dú)猓瑥U氣物流中氮的濃度和來(lái)自膜組件的富氮?dú)怏w物流中氮的濃度都相應(yīng)提高。這樣，不改變富氮?dú)怏w物流的流速，只通過(guò)將一定量的廢氣物流合并入空氣供氣中，就可以調(diào)整或提高富氮?dú)怏w物流中氮?dú)獾臐舛?。調(diào)整上述惰化過(guò)程，初始時(shí)，含氮98%(體積)的富氮?dú)怏w物流以約1330英尺3/小時(shí)的流速引入到容器的內(nèi)部空間。在富氮?dú)怏w物流引入期間，產(chǎn)生的含氧和氮的廢氣物流從容器(3)內(nèi)部空間中連續(xù)放出，直到容器(3)內(nèi)部空間的氧氣含量達(dá)到2%(體積)。在相同的條件下重復(fù)上述容器惰化過(guò)程，只是在富氮?dú)怏w物流引入到容器內(nèi)部空間期間，富氮?dú)怏w中氮?dú)獾臐舛葟募s97%(體積)增加到約99%(體積)。開(kāi)始時(shí)，含氮97%的富氮?dú)怏w以約1446英尺3/小時(shí)的流速導(dǎo)入。當(dāng)容器(3)內(nèi)部空間的氧氣濃度減少到約6%(體積)后，富氮?dú)怏w中的氮?dú)鉂舛忍岣叩郊s99%，并且以1161英尺3/小時(shí)的速度連續(xù)通入容器(3)的內(nèi)部空間，直到其中的氧氣含量減少到約2%。在富氮?dú)怏w引入容器(3)期間，產(chǎn)生的廢氣物流連續(xù)放出。對(duì)上述固定濃度凈化和變濃度凈化的結(jié)果進(jìn)行計(jì)算。其中，假定供料空氣速度和循環(huán)氣流速都不變，計(jì)算結(jié)果見(jiàn)下表Ⅱ。表Ⅱ如表Ⅱ所示，通過(guò)將廢氣物流從容器(3)循環(huán)，容器內(nèi)部空間的惰化速率可得以改善。而如果在富氮?dú)怏w物流引入容器(3)內(nèi)部空間的過(guò)程中，改變富氮?dú)怏w物流中的氮?dú)鉂舛?，則該容器的惰化所需時(shí)間還能進(jìn)一步降低約10%。圖3和4也表示出了以相應(yīng)于富氮?dú)怏w中氮?dú)鉂舛鹊牧魉?，不同的富氮?dú)怏w從具有不同表面的不同的膜組件引入容器(3)內(nèi)部空間時(shí)的效應(yīng)。這些圖表明，用具有固定氮?dú)鉂舛鹊母坏獨(dú)怏w明顯影響容器(3)內(nèi)部空間的惰化速率。盡管參照具體實(shí)施方案對(duì)本發(fā)明的方法作了詳細(xì)描述，但本領(lǐng)域技術(shù)人員可認(rèn)識(shí)到在權(quán)利要求書(shū)的精神實(shí)質(zhì)和范圍之內(nèi)，本發(fā)明還有其他的實(shí)施方案。權(quán)利要求1.惰化容器內(nèi)部空間的方法，所述方法包括(a)平穩(wěn)地將富惰性流體物流引入所述容器的所述內(nèi)部空間，所述富惰性流體物流中惰性流體的濃度大于所述容器的所述內(nèi)部空間中的惰性流體濃度；(b)在所述富惰性流體物流引入所述容器期間，增加該富惰性流體物流中惰性流體的濃度；并且(c)從所述容器的所述內(nèi)部空間放出含有至少一種雜質(zhì)和惰性氣體的廢氣物流。2.根據(jù)權(quán)利要求1的容器內(nèi)部空間的惰化方法，進(jìn)一步包括在所述富惰性流體物流引入到所述容器的所述內(nèi)部空間期間，隨著該富惰性流體物流中惰性流體的濃度的增加，降低該富惰性流體物流的流速。3.根據(jù)權(quán)利要求1的容器內(nèi)部空間的惰化方法，其中所述富惰性流體物流選自富氮?dú)怏w物流或富氬氣體物流。4.根據(jù)權(quán)利要求3的容器內(nèi)部空間的惰化方法，其中所述富惰性氣體物流中惰性氣體的濃度被間歇地、漸進(jìn)地、連續(xù)地或逐步地提高。5.根據(jù)權(quán)利要求3的容器內(nèi)部空間的惰化方法，進(jìn)一步包括使氣體混合物通過(guò)至少一個(gè)具有非滲透?jìng)?cè)和滲透?jìng)?cè)的膜，從該膜的非滲透?jìng)?cè)產(chǎn)生所述富惰性氣體物流，同時(shí)從所述至少一個(gè)膜的滲透?jìng)?cè)除去次生的廢氣流。6.根據(jù)權(quán)利要求5的容器內(nèi)部空間的惰化方法，進(jìn)一步包括使至少一部分來(lái)自所述容器內(nèi)部空間的廢氣物流與所述氣體混合物一起進(jìn)入到所述至少一個(gè)膜的所述非滲透?jìng)?cè)。7.根據(jù)權(quán)利要求5的容器內(nèi)部空間的惰化方法，進(jìn)一步包括使至少一部分來(lái)自所述容器的內(nèi)部空間的廢氣物流進(jìn)到所述至少一個(gè)膜的滲透?jìng)?cè)，以清除其中的氧氣和/或水分。8.根據(jù)權(quán)利要求5的容器內(nèi)部空間的惰化方法，其中導(dǎo)入所述容器的所述內(nèi)部空間的所述富惰性氣體物流以將所述混合氣送到所述至少一個(gè)膜的壓縮或泵裝置所能產(chǎn)生的最大或幾乎為最大的流速流動(dòng)。9.根據(jù)權(quán)利要求1的容器內(nèi)部空間的惰化方法，進(jìn)一步包括將氣體混合物送至至少一個(gè)氣體分離系統(tǒng)以生產(chǎn)所述富惰性流體物流，所述氣體分離系統(tǒng)選自至少一個(gè)膜系統(tǒng)，至少一個(gè)變壓吸附系統(tǒng)，至少一個(gè)變溫吸附系統(tǒng)和至少一個(gè)低溫氣體蒸餾系統(tǒng)。10.從容器內(nèi)部空間清除氧氣的方法包括(a)富惰性氣體物流引入到所述容器的所述內(nèi)部空間，所述富惰性氣體物流中惰性氣體的濃度大于80%(體積)，但小于或等于約99.9%(體積);(b)所述容器的內(nèi)部空間中氧氣的濃度相對(duì)于所述容器的所述內(nèi)部空間的氣體總體積減少到約1%～10%(體積)后，所述富惰性氣體物流中惰性氣體的濃度提高到大于約93%(體積);(c)產(chǎn)生的惰性氣體濃度提高了的富惰性氣體物流供入容器的所述內(nèi)部空間，直到容器內(nèi)部空間中氧氣的濃度小于或等于7%;并且(d)在引入所述富惰性氣體物流期間，從所述容器的所述內(nèi)部空間排出含有氧和惰性氣體的廢氣物流。11.根據(jù)權(quán)利要求10的從容器的內(nèi)部空間清除氧的方法，進(jìn)一步包括用至少一個(gè)由一個(gè)具有滲透?jìng)?cè)和非滲透?jìng)?cè)的膜構(gòu)成的膜組件分離空氣，提供步驟(a)所述富惰性氣體物流。12.根據(jù)權(quán)利要求11的從容器的內(nèi)部空間清除氧的方法，進(jìn)一步包括將至少一部分廢氣物流送至膜組件中膜的非滲透?jìng)?cè)，以增加富氮?dú)馕锪髦械亩栊詺怏w濃度。13.根據(jù)權(quán)利要求11的從容器的內(nèi)部空間清除氧氣的方法，進(jìn)一步包括將至少一部分廢氣物流送至膜組件中膜的滲透?jìng)?cè)，以清除在所述膜的滲透?jìng)?cè)的水分和/或氧氣。全文摘要容器內(nèi)部空間的惰化方法，包括(a)富惰性流體物流引入容器的內(nèi)部空間，在富惰性流體物流中惰性流體的濃度大于容器內(nèi)部空間中惰性流體的濃度；(b)在富惰性流體引入到容器內(nèi)部空間期間，增加富惰性流體物流中惰性流體的濃度；(c)從容器的內(nèi)部空間排出含有至少一種雜質(zhì)和惰性流體的廢氣物流。文檔編號(hào)B01J19/14GK1096758SQ94104430公開(kāi)日1994年12月28日申請(qǐng)日期1994年4月15日優(yōu)先權(quán)日1993年4月16日發(fā)明者R·普拉薩德申請(qǐng)人:普拉塞爾技術(shù)有限公司