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缺陷檢測方法及裝置、外觀機、電子設備與流程技術資料下載

技術編號:40614707

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本公開涉及半導體缺陷檢測,特別涉及一種缺陷檢測方法及裝置、外觀機、電子設備。背景技術、傳統(tǒng)的外觀機料盤作業(yè)時,檢測出的不良品會在替換后直接出盤。這種做法存在以下不足:首先,外觀機作業(yè)時,吸嘴破真空過小或者過大會導致產品未落槽或者被吹飛,易產生疊料空格或出槽。其次,產品表面存在的一些細小異物經過高溫烘烤后具備一定的粘性,吸嘴表面累積了一定這樣的異物后會產生粘性,從而導致產品不完全粘在吸嘴上,產生各種異常現象。再次,已產生疊料的來料無法被檢測出來。、現有的外觀機料盤作業(yè)過程中,產品異?,F象無法及...
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