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一種拋光粉、拋光液及其制備方法和應(yīng)用與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40614311

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本發(fā)明涉及拋光材料,具體涉及一種拋光粉、拋光液及其制備方法和應(yīng)用。背景技術(shù)、在集成電路制造中,采用光刻技術(shù)為主要方法的微細(xì)加工是獲得大規(guī)模集成電路的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)。隨著光刻圖形的微細(xì)化要求不斷提高,對(duì)應(yīng)用其中的石英掩膜版基板的缺陷密度及缺陷尺寸、面粗糙度、平坦度等品質(zhì)提出了更嚴(yán)格的要求。、目前石英拋光用的拋光液主要為氧化鈰拋光液,能夠?qū)崿F(xiàn)較高的拋光速率,但現(xiàn)有氧化鈰拋光液容易在石英玻璃基板表面產(chǎn)生劃痕等缺陷,影響玻璃基板的表面質(zhì)量。、因此,需要開(kāi)發(fā)一種能夠兼顧拋光速率和較好的表面質(zhì)量的拋光液...
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