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一種光刻機(jī)及光源陣列化調(diào)節(jié)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40614307

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本申請(qǐng)涉及光刻機(jī),具體涉及一種光刻機(jī)及光源陣列化調(diào)節(jié)方法。背景技術(shù)、傳統(tǒng)光刻機(jī)復(fù)眼透鏡分為單體式復(fù)眼透鏡和雙排分離式復(fù)眼透鏡兩種類型,根據(jù)光學(xué)擴(kuò)展量守恒,單體式復(fù)眼陣列準(zhǔn)直后的光路具有一定的發(fā)散角,使得從復(fù)眼透鏡射出的發(fā)散角遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于聚焦鏡的理論設(shè)計(jì)視場(chǎng)需求,相當(dāng)于是多出來(lái)的視場(chǎng)光是雜散光的問(wèn)題。雙排分離式復(fù)眼透鏡具有裝配工藝要求前后排復(fù)眼對(duì)準(zhǔn)精度高,易產(chǎn)生缺色缺邊等問(wèn)題。此外,傳統(tǒng)的復(fù)眼透鏡大部分采用單透鏡粘合而成整個(gè)復(fù)眼的方式,透鏡單元間隙大,光源通過(guò)前復(fù)眼透鏡后部分光被損失,且降低了光的均...
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