技術(shù)編號：40607453
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及薄膜產(chǎn)品，尤其涉及一種薄膜膜面平整度檢測方法及裝置。背景技術(shù)、薄膜產(chǎn)品在各個領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用。但由于薄膜制備過程中經(jīng)常有應(yīng)力殘余，導(dǎo)致膜面平整度不良，影響其性能，且會對后續(xù)加工工序造成不良影響，因此需對薄膜的膜面平整度進(jìn)行檢查，一般采取裸視或借助燈光進(jìn)行檢查。然而，常規(guī)通過裸視和借助燈光對膜面平整度進(jìn)行檢查的方法，難度較大，較難發(fā)現(xiàn)膜面不平整的地方，且主觀性較強(qiáng)，很難判斷不平整度。技術(shù)實現(xiàn)思路、()要解決的技術(shù)問題、本申請?zhí)峁┝艘环N薄膜膜面平整度檢測方法，解決上述背景技術(shù)中...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。