技術編號：40575339
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(mems)，尤其是涉及一種面向高靜壓環(huán)境的低靜壓誤差諧振差壓傳感器。背景技術、自上世紀年代初期以來，微機電系統(tǒng)(mems)諧振式壓力傳感器逐漸成為壓力測量領域的關鍵技術之一。在mems技術的支持下，壓力傳感器實現(xiàn)了微小化、高精度化和低成本化。然而，隨著應用領域的不斷拓展，極端環(huán)境下的壓力傳感器應用受到越來越多的關注，特別是在高端裝備、軍事武器、航空航天、深海探測等領域。在這些極端環(huán)境中，實現(xiàn)高靜壓下的微差壓檢測成為mems壓力傳感器面臨的重要技術挑戰(zhàn)。、mems壓力...
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