技術(shù)編號：40573415
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種具有液體排放功能的晶圓傳輸裝置。背景技術(shù)、在晶圓傳輸過程中，需要用晶圓傳輸機(jī)器手在各個工位之間進(jìn)行晶圓傳送。有的工位需要對晶圓進(jìn)行清洗，將晶圓上的微塵、殘余物、臟污等刷洗干凈。清洗后的晶圓表面附著一層液膜，在晶圓傳送時，晶圓表面的液體就會滴落到機(jī)器手上，機(jī)器手上的液體會滴落到半導(dǎo)體設(shè)備中造成污染。、目前半導(dǎo)體設(shè)備中機(jī)器手的接液裝置主要用于接收機(jī)器手上滴落的液體。接液裝置的底部設(shè)置排液口和排液管路，排液管路的出液端置于一固定的排液槽中，以便排液管路在機(jī)器手運(yùn)行...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。