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一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮ito薄膜裝載運行裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:39472

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專利摘要一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮ITO薄膜裝載運行裝置,是由車體、上絕緣塊、一號磁靴、倒U形磁鐵護(hù)套、永磁體、下絕緣座、傳動導(dǎo)向桿、高度調(diào)節(jié)槽、夾桿、ITO薄膜安裝區(qū)構(gòu)成;車體上方的永磁體與真空室內(nèi)的永磁體產(chǎn)生相互的吸引力,使車體向上處于懸浮狀態(tài),車體攜帶ITO薄膜沿傳動系統(tǒng)傳動輪的向前平穩(wěn)運行,有效地提高了ITO薄膜的電阻率和透過率,保障車體長期使用且不影響正常生產(chǎn),節(jié)省了大量的人力、物力、財力,降低生產(chǎn)成本,保障產(chǎn)品質(zhì)量,提高產(chǎn)品市場競爭力。專利說明一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮ITO薄膜裝載運行裝置 技術(shù)領(lǐng)域...
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