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粘結(jié)膜以及化學(xué)研磨用表面保護(hù)膜的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3711391

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本發(fā)明提供一種不僅防止蝕刻液的浸入且在被粘附體上不發(fā)生殘膠的粘結(jié)膜以及使用該粘結(jié)膜的化學(xué)研磨用表面保護(hù)膜。一種在樹(shù)脂膜基材的單面上具有粘結(jié)劑層的化學(xué)研磨用表面保護(hù)膜,其特征在于,所述樹(shù)脂膜基材的厚度為75μm以上,所述粘結(jié)劑層是通過(guò)使用含有硅烷偶聯(lián)劑和交聯(lián)劑的丙烯酸類(lèi)粘結(jié)劑組合物來(lái)形成,將所述化學(xué)研磨用表面保護(hù)膜,在以所述粘結(jié)劑層為介貼合于玻璃基板上的狀態(tài)下,浸漬于溫度為27℃、濃度為15%的氫氟酸水溶液后,在用作被粘附體的所述玻璃基板的被粘附面的、所述化...
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