技術(shù)編號：3443015
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)冶金級硅是將碳、硅石混合，通過電弧爐還原制造的。該冶金級硅與HCl反應(yīng)，由此合成三氯硅烷，將其精餾純化后，使用氫在高溫下進(jìn)行還原，制造半導(dǎo)體級硅。目前，作為太陽能電池用硅的主要原料，使用制造上述半導(dǎo)體級硅時(shí)產(chǎn)生的等外品。上述半導(dǎo)體級硅的制造方法中，可以制造極高純度的硅，但是，三氯硅烷氣體轉(zhuǎn)化為硅的轉(zhuǎn)化率低，為了有利地使平衡向硅一側(cè)移動，需要大量的氫；為了進(jìn)一步提高轉(zhuǎn)化率，必須使大量的未反應(yīng)氣體循環(huán)而再使用；由于在上述未反應(yīng)的三氯硅烷氣...
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