技術(shù)編號：3368285

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本發(fā)明涉及Al基合金濺射靶，詳細(xì)地說，是涉及在使用濺射靶形成薄膜時(shí)，能夠 消除在濺射的初期階段發(fā)生的問題(例如飛濺的個數(shù)的增加和所形成的薄膜的電阻的上 升等)，可以縮短預(yù)濺射時(shí)間的Al基合金濺射靶。背景技術(shù)Al由于電阻率低，容易加工等理由，在液晶顯示器(IXD =LiquidCrystal Display)、等離子體顯示板(PDP =Plasma Display Panel)、電致發(fā)光顯示器(ELD =Electro Luminescence Displa...
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