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鎵摻雜氧化鋅靶材及其透明導(dǎo)電膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3361895

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本發(fā)明涉及一種鎵摻雜氧化鋅濺射靶材及其透明導(dǎo)電膜的制備方法,屬于光電子功能材料。背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物(transparent conductive oxide,簡稱TC0)對可見光具有很高的透過率,而對紅外光具有很高的反射率,同時具有優(yōu)良的導(dǎo)電性能,因此被廣泛應(yīng)用于太陽能電池、發(fā)光二極管、平板和液晶顯示、各種熱反射鏡以及各種交通工具的防霧除霜窗玻璃等領(lǐng)域。錫摻雜氧化銦andium Tin Oxide,簡稱ΙΤ0)是目前應(yīng)用最為廣泛的透明導(dǎo)膜, 但是作為主...
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