技術編號：3334386
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供一種化學機械研磨臺，包括研磨臺、研磨墊、研磨液輸送裝置、研磨頭裝置，所述研磨頭裝置主要由上蓋板和交錯底蓋板、研磨頭、晶圓滑片監(jiān)測器以及I/O信號控制面板組成，其所述I/O信號控制面板通過一固定支架架設在所述箱體內(nèi)部并與交錯底蓋板底面保持一定距離高度，從而保證了I/O信號控制面板與交錯底蓋底部積水的隔絕，能夠避免機臺的定期維護和研磨過程中的自動清洗產(chǎn)生的積水進入交錯蓋板內(nèi)部，造成晶圓滑片監(jiān)測器所連接的信號控制面板的電路短路的問題，進而保證化學機...
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