技術(shù)編號：3293567
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供了一種移動式細胞格磁控濺鍍靶。該磁控濺鍍靶包含一靶材，其貼附于一銅底板上，所述靶材連接一負電壓；一驅(qū)動裝置；一細胞格磁控裝置，其固定于所述銅底板，包含一基板、一細胞格狀磁盤、多個磁條，所述細胞格狀磁盤及所述多個磁條由外而內(nèi)固定于所述基板上，所述基板由所述驅(qū)動裝置所驅(qū)動，而以一預定速率，作預定平面軌跡的運動，其中，所述細胞格狀磁盤由相接的磁條所構(gòu)成，并以相同的第一磁極面向所述靶材，所述細胞格狀磁盤的空間內(nèi)，每一細胞格包含一磁條，以第二磁極面向所述靶...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。