技術(shù)編號：3292717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供的載臺升降裝置、反應(yīng)腔室及等離子體加工設(shè)備，其中托架驅(qū)動源用于驅(qū)動軸提升托架作升降運動；波紋管軸穿過軸提升托架與其固定連接；軸提升托架具有安裝通孔；波紋管軸上端與載臺連接，波紋管軸下端沿豎直方向貫穿腔室壁，且依次穿過直線軸承和安裝通孔，并且波紋管軸與直線軸承在豎直方向上滾動配合，波紋管軸與安裝通孔間隙配合；在托架驅(qū)動源的驅(qū)動下，軸提升托架帶動波紋管軸在直線軸承內(nèi)作升降運動，繼而實現(xiàn)固定于波紋管軸上的載臺的升降運動；軸向定位件用于阻擋軸提升托架與波...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。