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一種退火處理裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3292652

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本發(fā)明公開(kāi)了一種退火處理裝置,其包括殼體(1);冷卻部(2)安裝在所述殼體(1)的第一內(nèi)壁上;石英管(3)的一端安裝在所述冷卻部(2)上,另一端安裝在所述殼體(1)的與所述第一內(nèi)壁相對(duì)的第二內(nèi)壁上,且在該石英管(3)上的靠近冷卻部(2)的位置設(shè)置有進(jìn)氣口(31),在該石英管(3)上的靠近第二內(nèi)壁的位置設(shè)置有出氣口(32);輸送通道(4)從所述殼體(1)的第二內(nèi)壁延伸至所述殼體(1)的第一內(nèi)壁,并且從內(nèi)部貫穿所述冷卻部(2)和所述石英管(3);感應(yīng)線圈(5)...
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