技術(shù)編號(hào)：3272278
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型是一種可用于真空蒸發(fā)、濺射鍍膜的加熱器。背景技術(shù)在真空鍍膜過(guò)程中，對(duì)粉末狀有機(jī)物及有機(jī)金屬鰲合物(如Znq2)等材料蒸發(fā)時(shí)，目前通常是將鎢絲纏繞在燒杯上做蒸發(fā)加熱源或者用鉬舟做蒸發(fā)加熱源容器。在實(shí)際操作中，以上兩種方法遇到了這樣的困難前者由于燒杯的導(dǎo)熱性差，用鎢絲直接纏繞加熱時(shí)燒杯容易破碎，同時(shí)燒杯口徑大，每次蒸發(fā)到樣片上的材料不到30％；后者由于鉬舟直接接觸粉末狀材料，在高真空下材料會(huì)進(jìn)濺出鉬舟，附著在樣片表面，不能形成理想的薄膜。此外，傳統(tǒng)的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。