技術(shù)編號：3175890
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路封裝設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣靜壓電主軸和空氣靜壓電主軸的冷卻裝置。背景技術(shù)目前，空氣靜壓電主軸是一種常用的部件，其具備精度高、轉(zhuǎn)速高、穩(wěn)定性好、摩擦小、容易散熱等優(yōu)勢，主要可以應(yīng)用于切割機等設(shè)備中。在空氣靜壓電主軸工作時，經(jīng)過精密過濾的壓縮空氣會經(jīng)過管道進入空氣靜壓電主軸殼體的通道，之后流入軸承的節(jié)流小孔，然后流入軸承和轉(zhuǎn)軸之間的間隙，形成一層壓力氣膜，將轉(zhuǎn)軸浮起，這樣，轉(zhuǎn)軸就能夠在空氣壓力的作用下穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。通常，采用了空氣靜壓電主...
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