技術(shù)編號：2925493
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于限制充電效應(yīng)(effet de charge)的離子注入機電源。本發(fā)明的領(lǐng)域是以等離子體浸沒方式工作的離子注入機。因此，襯底的離子注入包括將所述襯底浸沒于等離子體中，并使襯底極化而帶上負電壓，從幾十伏到幾十千伏不等(一般低于100千伏)，以形成一電場，所述電場能夠朝所述襯底方向加速所述等離子體中的離子。所述離子的穿透深度由其加速能量確定。所述穿透深度一方面取決于施加在所述襯底上的電壓，另一方面取決于所述離子和所述襯底各自的特性。注入的離子濃度...
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