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一種碳納米管纖維陣列冷陰極的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2871218

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本發(fā)明提供了。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的,采用化學(xué)氣相沉積法在沉積有多層金屬催化劑的硅基片上合成超長(zhǎng)取向碳納米管,采用紡絲法對(duì)合成的碳納米管進(jìn)行抽絲和紡絲連續(xù)制備取向碳納米管纖維。然后在導(dǎo)電基板上刻蝕(或激光打孔)制備微孔陣列,然后將紡絲碳納米管纖維植入微孔陣列內(nèi),根據(jù)合適的要求裁剪其長(zhǎng)度,再將金屬納(微)米粉體制成漿料通過(guò)微孔注漿填充導(dǎo)電基板上的微孔,然后將導(dǎo)電基板放入真空爐中,惰性氣體保護(hù)下在攝氏400~900度進(jìn)行退火處理,或在氫氣氣氛下進(jìn)行氫還原退火處理或...
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