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透射電鏡用力電性能與顯微結(jié)構(gòu)測量的傳感器及制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2863705

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本發(fā)明涉及一種低維納米材料原位力電性能與顯微結(jié)構(gòu)測量的傳感器及其制作方法,更具體的是彎曲變形狀態(tài)下原位動態(tài)的低維納米材料的顯微結(jié)構(gòu)-力電性能相關(guān)性測量的傳感器及制作方法。背景技術(shù)低維納米材料作為器件的基本結(jié)構(gòu)單元,承載著信息傳輸,存儲等重要功能。在半導(dǎo)體及信息工業(yè)中應(yīng)用到的低維納米材料,在應(yīng)力場的作用下,研究低維納米材料的顯微結(jié)構(gòu)變化,以及顯微結(jié)構(gòu)變化之后,對器件單元內(nèi)低維納米材料力學(xué)性能和電荷輸運性能等的影響,這對器件中各個單元的功能、效率、存儲密度等實...
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