技術(shù)編號：2815820
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)，其中，由射束偏轉(zhuǎn)元件組成的平面狀布置例如耀一鏡陣列用于可變地照明光瞳面。 背景技術(shù)在用于制造精細結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件的微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng) 中，越來越多使用射束偏轉(zhuǎn)元件的平面狀布置，借助它們可以非常靈活地操 縱投射光，以便改善微光刻投射曝光設(shè)備的成像特性。這方面的一個例子是 所謂Multi-Mirror-Array(多鏡陣列)，其中將多個微鏡，優(yōu)選地按行和列排列 成陣列。孩i鏡可運動并尤其可繞兩個互相垂直的軸...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。