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曝光設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2799481

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本發(fā)明涉及一種曝光設(shè)備,用于在布置于物體上的光敏層內(nèi)產(chǎn)生曝光結(jié)構(gòu),所述曝光設(shè)備包括容納物體的物體載體和曝光裝置,其中,物體載體和曝光裝置能在進(jìn)給方向上彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng),以及其中,利用曝光裝置可橫向于進(jìn)給方向地位置受控制地在光敏層上以如下方式產(chǎn)生曝光點(diǎn),即曝光裝置具有至少一個(gè)包括一列在列方向上彼此跟隨地布置的輻照出射區(qū)的曝光單元,從這些輻照出射區(qū)中發(fā)出曝光射束,利用其中的每條曝光射束通過成像單元可以在光敏層上產(chǎn)生曝光點(diǎn),并且其中的每條曝光射束通過至少一個(gè)具有在 ...
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